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靜電チャック用高圧電源

ＨEＣシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できる多機(jī)能タイプです。

·  靜電チャック専用設(shè)計(jì)。

·  2ch出力內(nèi)蔵（×2モデル）。

·  両極性出力。

·  リバース出力（Rモデル）。

·  RFフィルタ?jī)?nèi)蔵（オプション）。

·  出力は電子スイッチで高速?gòu)甏稹?

·  リレーを使わないので高信頼、長(zhǎng)壽命。

·  極性反転によるスムーズな剝離。