日本松定高壓電源HCU系列

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全部商品分類(lèi)

日本松定高壓電源HCU系列

型號(hào)：HCU系列

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產(chǎn)品說(shuō)明

HCUシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

HCUシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることが可能です。

· 靜電チャック専用設(shè)計(jì)

· ＋、－2出力タイプ

· 極性反転機(jī)能、強(qiáng)制接地機(jī)能によるスムーズな剝離

· RFフィルター內(nèi)蔵

· ローカル、リモート、RS232Cで操作可能

出　力			モデル名
出力電圧	出力電流	リップル[mVp-p]	モデル名
+500V，-500V	10mA	1	HCU-0.5PN6
+1kV，-1kV	3mA	1	HCU-1PN3
+1.5kV，-1.5kV	2mA	100	HCU-1.5PN2

用戶(hù)評(píng)論


            我來(lái)說(shuō)兩句(?)

標(biāo)題
內(nèi)容

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企業(yè)因簡(jiǎn)單而專(zhuān)注，因?qū)Ｗ⒍咝В蚋咝Ф晒Γ粩酁榭蛻?hù)創(chuàng)造價(jià)值！

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